納米硬度（HNT）對材料的壓入深度在50-1000nm，可用于有機無機材料（液體除外）和涂層材料的硬度評定。納米劃痕儀（NST）用于表征厚度小于1000 nm 的薄膜或涂層的附著力以及抗劃擦強度或抗擦傷性，分析有機涂層和無機涂層，硬質涂層和軟性涂層與基體結合強度，配有摩擦力傳感器

測量納米硬度一般采用新興的納米壓痕技術 (nano-indentation)，由于采用納米壓痕技術可以在極小的尺寸范圍內測試材料的力學性能，除了塑性性質外，還可反映材料的彈性性質，得到了越來越廣泛的應用。

納米壓痕技術也稱深度敏感壓痕技術（Depth-Sensing Indentation， DSI)，是最簡單的測試材料力學性質的方法之一，可以在納米尺度上測量材料的各種力學性質，如載荷-位移曲線、彈性模量、硬度、斷裂韌性、應變硬化效應、粘彈性或蠕變行為等。

硬度（hardness）是評價材料力學性能的一種簡單、高效的手段，關于硬度的定義尚未統一。從作用形式上，可定義為“某物體抵抗因另一物體（場）作用而產生變形的能力的度量”；從變形機理上，可定義為“抵抗彈性變形、塑性變形和破壞的能力”或“材料抵抗殘余變形和破壞的能力”。硬度本身不是一個物理量，而是材料局部區域力學性能在特定條件下的整體表現。它是材料對外界物體機械作用（壓入或刻劃）的局部抵抗能力的一種表現。

又名：壓痕儀/硬度計/顯微鏡硬度計/超顯微硬度計/動態超顯微硬度計/納米硬度計,是一種用于表征各種涂層、薄膜的機械性能、產品品質，包括硬度、彈性模量和斷裂韌性等，表征的材料幾乎包括所有類型的材料：柔軟、硬質、脆性或延展性材料。

納米硬度使用場所

（1）半導體技術：保護層、金屬層等

（2）數據存儲：磁盤保護涂層、圓盤基底上的磁性涂層、CD上的保護涂層等

（3）光學元件：光學抗劃涂層、接觸棱鏡

（4）裝飾涂層：蒸發金屬涂層

（5）抗磨損涂層：TiN、TiC、DLC、刀具、模具、手機外殼等

（6）藥理學：藥片和藥丸、植入器官、生物組織

（7）汽車：油漆和聚合物、清漆和修飾、玻璃窗、剎車片

（8）一般工程技術應用：抗耐性橡膠、觸摸屏、潤滑劑和潤滑油、自潤滑系統

（9）MEMS微電子領域等

根據總施加載荷的大小：

宏觀硬度（日本、美國和前蘇聯等定為10N以上，歐共體國家和國際機構則定為2N以上）

顯微硬度（上限：10N或2N；下限：10mN左右）

納米硬度（一般在700mN以下，有的生產商為了便于研究者模擬顯微硬度，配有10N載荷附件。）

宏觀硬度和顯微硬度適用于較大尺寸的試樣，僅能得到材料的塑性性質，隨著現代材料表面工程（氣相沉積、濺射、離子注入、高能束表面改性、熱噴涂等）、微電子、集成微光機電系統、生物和醫學材料的發展、試樣本身活表面改性層厚度越來越小，人們在設計時不僅要了解材料的塑性性質，更需要掌握材料的彈性性質。傳統的硬度測量已無法滿足新材料研究的需要，納米硬度技術應運而生。

納米硬度計有兩種壓痕硬度和劃痕硬度兩種工作模式，它是一種檢測材料微小體積內力學性能的先進測試儀器。由于壓痕或劃痕深度一般控制在微米甚至納米尺度，該儀器是進行電子薄膜、各類涂層、材料表面及其該改性的力學性能檢測的理想手段。它不需要將表層從基體上剝離，可以直接給出材料表層力學性質的空間分布，例如，能檢測出焊點及其附近材料的力學性質。由于試樣準備簡單，材料達到可以用其他宏觀方法檢測，該方法仍然是一種可以選擇的方法。