碳化物不均勻度測量 碳化物深度測量 使用掃描電子顯微鏡與其他設備的組合以實現多種分析功能。

在掃描電子顯微鏡上安裝許多附件，可以實現一機多用，成為了一種快速、直觀、綜合性分析儀器。

圖1

目前掃描電子顯微鏡的最主要組合分析功能

X射線顯微分析系統，也就是能譜儀，EDS

主要用于元素的定性和定量分析，并可分析樣品微區的化學成分等信息。

圖2

背散射電子衍射系統，也就是結晶學分析系統，主要用于晶體和礦物的研究。

掃描電子顯微鏡組合分析功能，例如，顯微熱臺和冷臺系統，主要用于觀察和分析材料在加熱和；冷凍過程中微觀結構上的變化。

拉伸臺系統，主要用于觀察和分析材料在受力過程中所發生的微觀結構變化。

掃描電子顯微鏡與其他設備組合而具有的新型分析功能為新材料、新工藝的探索和研究起到重要作用。