| 直流電源維修： | 進口射頻電源維修 |
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| 有效期至： | 長期有效 |
| 發布時間： | 2023-12-15 10:11 |
| 最后更新： | 2023-12-15 10:11 |
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射頻電源維修RF Generator Comdel CX-3500S
射頻電源常見故障及維修：
故障現象1：打開電源，電源指示燈不亮；
故障現象2：電源燈亮了，預熱燈不亮；
故障現象3：電源燈亮了，預熱燈亮、輝光亮，匹配器功率及反射功率，電源的功率指示和電流指示不正常。（正常的功 率指針指到220，電流指示0.4）
故障現象4：電源燈亮了，預熱燈亮，輝光不亮:；
故障現象5：無功率輸出；
故障現象6：有功率輸出，調不大，或是調不到正常值。
故障現象7：無反射功率，或反射功率過大，射頻功率源壞
RF MATCH(射頻電源匹配)1、ADVANCED ENERGY射頻電源匹配2、ASTEX射頻電源匹配3、NP(NEW POWER PLASMA)射頻電源匹配
4、ASTECH射頻電源匹配5、SEREN射頻電源匹配6、LAM射頻電源匹配7、KYOSAN射頻電源匹配8、ENI射頻電源匹配9、DAIHEN射頻電源匹配10、AMAT射頻電源匹配11、TRAZAR射頻電源匹配