醫療器械滅菌驗證一般分為安裝確認(IQ)、操作確認(OQ) 和性能確認(PQ)。

安裝確認：一要確認滅菌器隨機文件和附件的完整性，如安裝記錄、圖紙、計算機軟件、計量裝置的校準等，二要對滅菌器工作環境的符合性進行驗證，如水質檢測、安全要求等，三是要驗證滅菌器安裝是否符合設備安裝要求，要確認滅菌劑的濃度及質量狀況。

操作確認：驗證滅菌設備有能力在指定的允差范圍內提供特定的過程，如溫度分布試驗、濕度分布試驗、泄漏試驗、真空速率試驗、空氣循環試驗( 如果使用) 等。

性能確認：包括物理性能確認和微生物性能確認。